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SMU210 LCD檢查顯微鏡

產(chǎn)品介紹:誠立-專業(yè)生產(chǎn)銷售工業(yè)長度測量儀器設(shè)備,標(biāo)準(zhǔn)機(jī)采用分辨率0.0001mm貼片光柵尺,P級導(dǎo)軌、研磨絲桿,松下伺服電機(jī),視帝軟件、控制器等高端配件而精心打造的二次元影像測量一體機(jī),為您的產(chǎn)品尺寸測量把控每1um。

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SMU210 LCD檢查顯微鏡2.jpg

    性能特點

    用途  

    SMU210系列為最新型FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業(yè)/ TFT玻璃/ COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查 SMU210系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺設(shè)計,可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查特點 SMU210系列,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美 SMU210系列機(jī)型采用全新設(shè)計的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察


    技術(shù)參數(shù)

    配 置

    參 數(shù)

    型 號

    WX40

    WX40(透反)

    光學(xué)系統(tǒng)

    無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

    觀察方法

    明場/斜照明/偏振光/DIC

    明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光

    觀 察 筒

    30°鉸鏈?zhǔn)饺?,分光比,雙目:三目=100:0或50:50

    目 鏡

    PL10X/22平場高眼點目鏡

    轉(zhuǎn) 換 器

    5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽

    物 鏡

    無限遠(yuǎn)長工作距明場金相物鏡5X LMPL5X /0.13 WD10.8mm

    無限遠(yuǎn)長工作距明場金相物鏡10X LMPL10X /0.25 WD10mm

    無限遠(yuǎn)長工作距明場金相物鏡20X LMPL20X /0.4 WD4mm

    無限遠(yuǎn)長工作距明場半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X /0.6 WD7.9mm

    無限遠(yuǎn)長工作距明場半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X /0.80 WD2.1mm (選配)

    調(diào)焦機(jī)構(gòu)

    粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001,帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出

    載 物 臺

    4英寸機(jī)械移動平臺,低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺面積230X215mm,移動范圍:105X105mm,含金屬載物臺板,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口

    4英寸機(jī)械移動平臺,低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺面積230X215mm,移動范圍:105X105mm,含玻璃載物臺板,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口

    顯微鏡鏡體

    粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出

    粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出

    反射照明系統(tǒng)

    帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿。單顆大功率5W LED,白色,光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)

    偏光附件

    檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn),起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路

    CTV接口

    1X(標(biāo)配)、1/2X(選配)

    透射照明系統(tǒng)

    /

    單顆大功率5W LED,白色,光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌